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扫描探针显微镜探针和扫描探针接触印刷的方法
US10440022 2003-5-16 发明申请
2004-11-18
本发明公开了一种用于制造扫描探针显微镜(SPM)探针的方法。 探针通过在衬底上形成结构层来制造,其中衬底形成空腔。 牺牲层位于衬底和结构层之间。 在形成结构层之后,选择性地去除牺牲层,然后将探针从衬底上释放。 然后,衬底可以被重复使用以形成附加的探针。 另外,还公开了一种使用扫描探针显微镜探针的接触印刷方法。
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