| 扫描电子显微镜 |
| JP2003110974 2003-4-16 发明申请 |
| 2004-11-11 |
| 要解决的问题 : 以容易地使图像在扫描电子显微镜观察在一个高分辨率。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一对准电子束的偏转器，用于对准，和一个控制装置，用于所述对准偏转器偏转的控制所述的量。所述对准下偏转的量和其样本被设置为不同的观察下从每个其它。该显微镜提供了一种有利的效果 : 即使当一个主电子束被对角地入射在物镜透镜，它是可能的，以达到对准在一个最大分辨率所述的光学条件下容易地通过调整所述对准使得所述样品图像的运动引起的从所述物镜的振荡电流变得最小。 |
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