| 扫描电子显微镜装置 |
| JP2004214292 2004-7-22 发明申请 |
| 2004-11-11 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜装置能够有效地使用一个内部空间的一样品室通过消除所述样品室中的一种占用空间，表示一由一激光束扫描中心位置; 能够容易地指定的一个观察点。溶液 : 一长焦距的距离光学显微镜19具有一个光轴线可使所述的交叉的扫描电子显微镜3在样品5被安装在外部的所述样品室4安装到所述扫描电子显微镜3。一种图像运动的方向通过所述长焦距的距离光学显微镜是由以符合与由所述扫描电子显微镜，和一个激光束照射装置36被提供用于照射一激光束向该样品通过它与所述的光轴线重合的所述扫描电子显微镜从所述轴的中途。 |
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