| 扫描探针显微镜 |
| JP2003104308 2003-4-8 发明申请 |
| 2004-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜用于执行烘烤处理，而不加热的电元件组件。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个悬臂1具有一个微小的探针2在所述尖端; 一用于检测所述位移的位移检测装置8所述的悬臂1; 和一个样品-移动装置6用于移动一样品以测量所述的表面形状或表面物理特性该样品。所述扫描探针显微镜具有一个悬臂保持器10和一真空容器12，并配合所述悬臂支架10，以所述真空容器12，因此固定在所述真空容器12的气密性。 |
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