| 扫描探针显微镜 |
| JP2003106650 2003-4-10 发明申请 |
| 2004-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够增强s\/N的比以更精确地测量所述表面形状或一待测物体的物理特性。溶液 : 所述扫描探针显微镜1是配备与观察光检测机构30用于冷凝所述观测光l3从该测量发射的所述待测量物体S的区域相对的到所述前端的一个悬臂10以检测所述相同的和一位移检测机构20用于测量所述检测反射的光L1从该悬臂10由照射该悬臂10与所述的检测光(L1，其中所述波长是不同的从其所观察的光L3和检测所述该悬臂10的位移。所述所检测的光(L1)和所述的光的光路径所观察的光L3的路径是一组以被传送通过一公共光路至少在它们的一部分。一个介电分束器(光学滤波器)32具有光学特性，其中所述所观察的光L3的透射率是高于所述检测的光L1，被设置在所述公共光路。 |
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