| 原子力显微镜的头部 |
| KR1020030026101 2003-4-24 发明申请 |
| 2004-11-4 |
| 目的 : 一种原子力显微镜头是提供以去除的反射镜的运动造成的误差或一梯度一个样品没有非-线性度和提供所述扫描，通过将一个定向扫描仪以两个不同方向的扫描器。结构 : 激光源(12)是用于产生激光束的。一棱镜是用于折射所述激光束。一种悬臂(14)包括一针和反映所述的光。一个或多个反射镜(15)被用于反射所反射的光从所述悬臂。一种检测器(16)是用于测量所述反射镜所反射的光的角度。一种激光控制杆(11)所述悬臂被用于控制会聚的位置。一种反射镜控制杆(13)是用于用于控制所述反射镜的一位置。一扫描仪被用于校正所述悬臂的一变化，kipo2005 |
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