| 具有远场光学显微镜的透明接口的多板顶端或样品扫描可重构扫描探针显微镜 |
| US10487391 2004-2-23 发明申请 |
| 2004-11-4 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜，其包括一个允许尖端扫描的板和另一个允许样品扫描的板，扫描探针显微镜的光轴可以自由地结合到标准光学显微镜中。 顶板可以铰接在底板上，或者顶板可以简单地放置在底板上，并且由直流电机或其它机构引起粗糙的接近，这将使两个平板扫描器具有大的Z范围。 在另一个实施例中，显微镜包括三个板，它们允许样品扫描，尖端扫描和两个尖端同时操作。 本发明的显微镜可以使用液体池，可以使用由硅悬臂技术制成的近场光学元件，或者可以使用用于无孔径近场扫描光学显微镜的无孔径探针。 显微镜可以使用音叉以尖端，样品和音叉的几何形状的任意组合进行反馈，并且可以将尖端粘合到音叉上或者不将尖端粘合到音叉上，并且可以控制尖端连接或者接近连接到音叉上。 对音叉的尖端连接的控制可以基于接近零间隙运动技术，并且音叉可以用于非接触，接触和间歇接触操作模式。 基于光纤的反馈系统可以使用直的或悬臂的光纤，并且信号的检测可以基于可用于监测SPM传感器的移动的幅度，相位，波长或其它光学参数。 |
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