| 可集成正置光学显微镜的上扫描式原子力显微镜测头 |
| CN202223223941.0 2022-12-2 实用新型 |
| 2023-9-8 |
| 本实用新型公开了一种可集成正置光学显微镜的上扫描式原子力显微镜测头，包括：激光器、光电探测器、安装架、Z向扫描器、扫描器和微悬臂梁探针，安装架位于待测样品的上方并固装在扫描器的底端，Z向扫描器固装在安装架内，微悬臂梁探针固装在Z向扫描器的底端，激光器位于微悬臂梁探针的一侧，用于向微悬臂梁探针的悬臂梁发射激光且激光入射悬臂梁的方向与悬臂梁的长度方向垂直，在激光器和微悬臂梁探针之间的光路上安装有一第一会聚镜，光电探测器位于微悬臂梁探针的另一侧，在悬臂梁和光电探测器之间的光路上安装有一第二会聚镜。本实用新型避免了探针法向偏转信号和横向扭转信号的耦合，进而更准确地测量样品表面的形貌和摩擦力。 |
微信公众号