| 显微镜物镜安装旋转器型扫描型探针单元 |
| JP2003096161 2003-3-31 发明申请 |
| 2004-10-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描型探针单元用于测量SPM在所有显微镜，具有一物镜旋转器。溶液 : 所述扫描型探针单元1包括一个物镜旋转器的安装部2安装到所述物镜的旋转器一种显微镜; 一固定和调整部分4互锁到所述物镜的旋转器安装部分2与一安装螺钉3; 一个扫描器的固定部分9互锁到所述固定和调整部分4通过一Z引导部5; 一扫描器部分设置部分36通过该扫描器的固定支撑部9; 和用于移动所述扫描器部分设置一个Z驱动机构部36在Z方向。所述扫描器部分设置部分36包括一悬臂10，具有一杆部，其具有一探针11在一自由端; 一扫描器头部分6用于支撑所述的悬臂10; 和一个三-维扫描器7，用于扫描该悬臂10，沿与所述扫描头部分6。所述扫描头部分6具有一位移检测该探针11的系统，用于检测所述位移。 |
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