| 物理性能值的测量方法和扫描探针显微镜 |
| JP2003085746 2003-3-26 发明申请 |
| 2004-10-21 |
| 要解决的问题 : 提供一种具有改进的物理性能值的测量方法测量的灵敏度和能够与高分辨率测量表面电位分布的所述样品表面上的物理性能，一个扫描探针显微镜和一消耗力及其使用的调制装置。溶液 : 在一种非接触型原子力显微镜(NCAFM)1，一探针14固定在所述悬臂的尖端部3是放置在所述非接触状态与样品4，和自激振荡被执行与一个谐振一种自激振荡回路的频率ω27由一个压电致动器2。一个振荡信号，它是一消耗力具有一个由90°相移信号从振动的该探针14是由一个调制信号进行幅度调制从振荡器51具有一充分下调制频率ωm比所述耗散力调制装置中所述谐振频率ω24，从而产生一个交变电流信号。另外，一个直流偏置信号Vbias用于平衡调制频率变化ΔωM个分量中包含的AM该振动的振幅A的Δ一个所述谐振频率ω是通过产生一个直流偏置电路，通过加入加法电路53，和赋予所述探针和样品之间。所述接触电位的差值对应的vcpd到所述直流偏置信号Vbias被检测到。 |
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