| 扫描探针显微镜 |
| JP2003088536 2003-3-27 发明申请 |
| 2004-10-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可获得精确的扫描图像和观测数据通过提高精度的所述主扫描的位置。溶液 : 该用于表面扫描探针显微镜观察通过接触或放置一探针上或附近的所述的表面一个样品并扫描它包括一个扫描信号生成部78，其产生主扫描信号Sx和子扫描信号SY，一主扫描位置校正部61，其产生用于校正主扫描位置校正信号Sc所述的主扫描方向中的所述主扫描位置，加法电路74，它产生校正主扫描信号通过叠加所述校正信号ScSXC在所述主扫描信号Sx，和一个致动器驱动放大器70，其移动探针54用于主和子扫描所述样品的表面上通过响应所述修正的主扫描信号SXC和所述子扫描信号SY。 |
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