| 照明装置，用于DUV显微镜 |
| JP2004168501 2004-6-7 发明申请 |
| 2004-10-21 |
| 要解决的问题 : 以构成一用于一DUV显微镜照明装置，使得它可供给一DUV波长带具有最大透射率和半值宽度小。溶液 : 该照明装置，用于DUV显微镜(1)被提供有一照明光束路径(6)发出从一DUV光源(5)，和一个收集器(7)和一个反射滤波器系统(9)被设置在所述的照明光束路径，所述DUV波长带是通过所形成的反射滤光器的系统，和所述的反射滤光片系统被构成四个反射滤波器(8)，和还，所述反射之间的一个传输滤波器是不安装滤波器。所述的照明光束路径(6)在所述相同的是分别通过每个反射滤光器反射的反射角度α，以及所述的照明光束路径(6)同轴延伸的前和后面所述反射滤光片系统(9)。根据本发明，建立°入射角度α≤30a，该DUV波长带是提供与所述的半值20nm的最大的宽度和一具有一峰峰值值S≥90A%的所述入射光的强度。一DUV用于DUV显微镜物镜(1)可以被非常良好地校正由所获得的非常窄所述DUV波长带的半值宽度。 |
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