| 显微镜装置 |
| WOEP04003156 2004-3-25 发明申请 |
| 2004-10-21 |
| 本发明涉及一种显微镜装置，它包括一个照明源(1)，光学部件，用于产生一照明束路径，一个物镜(21)通过其所述的照明光束路径被引导到一个样品(20)，其是存在于所述物镜的所述对象平面(21)或在所述邻近的，和光学部件，用于产生一成像光束路径引导到所述接收表面的一摄像机(22)。根据本发明，提供上述类型是所述的显微镜装置具有一均匀化单元(5)用于所述的照明光均匀化，其被入射在所述待检查的样品部分。所述均匀化单元(5)使其可能的，以照亮该物体的平面所述的显微镜装置和因此所述一种样品的子段(20)中存在所述对象平面中或在所述邻近的一个均匀的方式，从而提高质量的再现的所述样本部分中和得到的更高的测量精度和因此在较高的再现性。 |
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