用于扫描电子显微镜二次电子的侦测系统
 
PL35974803  2003-4-17  发明申请

2004-10-18
 
  二次电子检测器单元,用于扫描电镜安装在头本体(1)。在下部头体(1),下节流孔(2)放置。上方下节流孔(2),所述微孔板(3)密封在头本体(1)通过垫圈(5)使用的紧固架板(6),其具有一开口暴露出有源输入区(7)相对于轴线不对称地配置的扫描电子束(WE)。微孔板(3)上方,闪烁器(11)和导光管(12)固定在一侧的头体(1)。
 
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