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一种原子力显微镜的扫描头取向调整方法
US10411728 2003-4-11 发明申请
2004-10-14
提供了一种校准AFM机的AFM扫描头以确定扫描头的电弧功能的方法。 一种结合电弧功能测量AFM尖端的实际取向的方法提供了一种了解和控制实际AFM尖端取向以执行更好的AFM扫描的方法, 在AFM图像中获得对深度特征的更精确的深度测量,并获得对深度特征的特定部分的更好的描绘。 可以组合聚焦于描绘深度特征结构的特定部分的AFM图像,以形成样品的代表性深度特征的合成图像。
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