| 纵向差动干涉共焦显微镜 |
| US10782057 2004-2-19 发明申请 |
| 2004-10-14 |
| 一种用于测量物体的差分干涉共焦显微镜，该显微镜包括源侧针孔阵列； 探测器侧针孔阵列； 以及干涉仪，其将源侧针孔阵列的针孔阵列成像到位于位于物体所在位置附近的物体平面之前的第一斑点阵列和位于物体平面之后的第二斑点阵列上， 其中第一和第二光斑阵列在垂直于物平面的方向和平行于物平面的方向上彼此移位， 干涉仪还将第一斑点阵列成像到位于检测器侧针孔阵列后面的第一图像平面上，并将第二斑点阵列成像到位于检测器侧针孔阵列前面的第二图像平面上，其中成像的第一斑点阵列的每个斑点与成像的第二斑点阵列的相应不同斑点和检测器侧针孔阵列的相应不同针孔对准。 |
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