| 暗场干涉共焦显微镜的方法和装置 |
| US10782058 2004-2-19 发明申请 |
| 2004-10-14 |
| 一种用于测量物体的差分干涉共焦显微镜，该显微镜包括 : 源侧针孔阵列； 探测器侧针孔阵列； 以及干涉仪，其将源侧针孔阵列的针孔阵列成像到位于位于物体所在位置附近的物体平面之前的第一斑点阵列和位于物体平面之后的第二斑点阵列上， 其中第一和第二光斑阵列在垂直于物体平面的方向上彼此相对位移， 干涉仪还(1)将第一光斑阵列成像到位于探测器侧针孔阵列后面的第一图像平面上， (2)将第一光斑阵列成像到由检测器侧针孔阵列限定的平面上， (3)将第二光斑阵列成像到位于探测器侧针孔阵列前面的第二图像平面上， 以及(4)将第二光斑阵列成像到由检测器侧针孔阵列限定的平面上， 其中，所述第一图像平面中的成像的第一斑点阵列的每个斑点与所述第二图像平面中的成像的第二斑点阵列的相应不同斑点和所述检测器侧针孔阵列的相应不同针孔对准，并且其中，所述检测器侧阵列限定的平面中的成像的第一斑点阵列的每个斑点与所述检测器侧阵列限定的平面中的成像的第二斑点阵列的相应不同斑点重合，并且与所述检测器侧针孔阵列的相应不同针孔重合。 |
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