| 扫描探针显微镜 |
| JP2003067984 2003-3-13 发明申请 |
| 2004-10-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够减小测量错误的相对于一细一个样品和所述扫描方向之间的角度位移，和进行精确形状的测量与一简单的结构。溶液 : 该扫描用于扫描探针显微镜样品，同时进行XY位置控制，具有一个传感器用于检测所述当前位置在XY平面垂直于探针用于测量该样品的形状。该显微镜配备有一脉冲发生器1，多个计数器2a的x，2y用于计数一个脉冲从所述脉冲发生器1，多个开关11a的X，11a之间用于切换连接Y所述脉冲发生器1和所述多个计数器的2X，2Y，多个D\/A转换器3a的X，3Y用于将计数值从所述多个计数器2a的X，Y分别为模拟信号，多个衰减器6a的X，6aY用于转换该模拟信号从所述多个D\/A转换器3a的X，3aY到具有可选的幅度，和一驱动部分(高电压放大器10aX，10aY)，用于驱动XY通过使用所述输出从所述衰减器级6aX，6aY为一个扫描波形。 |
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