| 扫描探针显微镜 |
| JP2003070612 2003-3-14 发明申请 |
| 2004-10-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜用于实施该装置的小型化通过分配与一种检测系统上的对准调整。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一悬臂207具有一探头209用于测量所述形状一种样品的211，Z和XY扫描驱动控制部分263和264用于控制X，Y，Z扫描在该样品211，一CCD234用于检测一个光光束的关系中获取到所述照射所述悬臂207以输出一个检测信号，CPU275用于进行规定的运算处理具有相对于所述检测从所述CCD234输出的信号，一个存储部分271存储与由所述CPU处理的数据275作为亮度该CCD的光接收表面上获得的数据234，和一个显示部分255用于显示所述数据通过所述CPU275处理。 |
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