| 探头制造的方法用于扫描探针显微镜 |
| JP2003074375 2003-3-18 发明申请 |
| 2004-10-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一种制造一种用于扫描探针显微镜探针的方法，其特征在于，生长一微小的尖端突起(在下文中，也称为“纳米柱”)在所述用于所述扫描探针显微镜所述探针的尖端(spm)。溶液 : 所述扫描探针显微镜探针用于制造所述的方法，其特征在于，在其微晶纳米柱，包括所述基材是生长在所述所述探针的尖端用于在所述扫描探针显微镜通过所述的运动从所述加热底座材料原子的基板。例如，所述探针是一硅单晶，和硅或锗被用作所述原料衬底，以使所述的纳米柱硅或锗生长。 |
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