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产业专利数据

扫描电子显微镜

US10801874 2004-3-16 发明申请

2004-9-23

一种扫描电子显微镜，具有用于产生电子束的电子枪，保持样品的样品架，用于将电子束快速聚焦到样品上的物镜，以及用于向样品施加负电压的电源。在支架上安装有由导电材料制成的屏蔽板，该屏蔽板具有至少一个孔，该孔用于限制由光束照射的样品表面的区域。将几乎等于施加到试样的电压的电压施加到屏蔽板。