| 用于扫描探针显微镜的扫描机构，和扫描探针显微镜 |
| JP2003048591 2003-2-26 发明申请 |
| 2004-9-16 |
| 要解决的问题 : 以提高刚度的一扫描机构，和以较低的高度，在一个扫描探针显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一级2用于在其上放置一个测量对象S，一探针P要接近或接触，与所述测量对象，和一扫描机构8用于移动相对所述探针在所述三-维方向相对于所述测量对象。所述扫描机构是配备有一水平微运动机构9可相对移动所述的探针和所述阶段一两维平面上，和一个垂直微运动机构10可相对移动所述的探针和所述级在所述垂直方向以所述二维平面，和所述水平微运动机构和所述的垂直微运动机构被安装时分地，和所述垂直直接支持该级微运动机构。 |
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