| 扫描电子显微镜 |
| JP2003045874 2003-2-24 发明申请 |
| 2004-9-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜通过降低在所述灵敏度和所述的还原该扫描引起的范围，当一个检测器离开一个样品被消除，和一个二次电子，其上的冲击被检测由一个通过扫描产生的磁场的线圈被消除。溶液 : 所述显微镜包括物镜2辐射的带电粒子到所述试样; 闪烁器11，它是在所述相同的轴3的一个电子光学系统和设置在所述物镜透镜2，以检测一个二次电子; 一个光电导体13，其引导通过该闪烁器11到所述外部光的光转换所述物镜的透镜2; 和一光电倍增管12，使放大的光引导通过所述光电导体13和获得一个信号和扫描线圈4b，其是一扫描器4内的至少一部分所述物镜透镜2，但是安装所述感光体13外侧，其中所述所述检测器和所述样品之间的距离S通过装置的位置是缩短该闪烁器11和该扫描线圈4和降低灵敏度和减少扫描范围的解决该问题。 |
微信公众号