透射电子显微镜系统
 
WOKR23000707  2023-1-16  发明申请

2023-9-7
 
  一个实施方式的透射型电子显微镜系统可以包括:物镜部,其设置有试样并对所述试样进行分析; 检测部,其配置在所述物镜部的下方,检测所述试样的像; 分析单元,其分析由所述检测单元检测的所述图像并将其转换为数据; 以及控制单元,其通过从所述分析单元传送的数据机械地控制所述物镜单元,其中,通过所述控制单元控制所述物镜单元以减小所述图像的寄生像差。
 
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