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产业专利数据

扫描电子显微镜

JP2003046066 2003-2-24 发明申请

2004-9-16

要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，提高了吞吐量，甚至如果它是观察到的与一个样品带电为负电位。溶液 : 一样品台10，一个样品载臂1和承载轨道7是通过电阻器接地的一种，R，R具有预定电阻值。