| 扫描传输电子显微镜 |
| JP2003047192 2003-2-25 发明申请 |
| 2004-9-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜能够提高检测的吞吐量的一种的暗场图像，并检测所述暗的场图像中抑制噪声和具有高图像质量。溶液 : 该扫描传输电子显微镜是用于检测所述暗场图像，通过扫描样品与一种电子束以检测由所述样品的非弹性散射电子强度。该显微镜具有 : 一个电子检测器设置在所述显微镜的光轴周围的环形区域和具有多个电子束检测元件的所述半径方向和在所述圆周方向中分离; 和一种图像处理单元，用于输入电子从多个所述电子束的束强度信号检测元件，和用于将所述各自的电子束强度信号在多个所述径向分离的环形区域，以该样品中产生的图像不同的材料。所述图像处理单元具有一噪声除去模式而不去除或表格所述电子束强度信号在分离的部分区域在圆周方向在所述分离的环形区域。 |
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