| 扫描电子显微镜 |
| JP2003039595 2003-2-18 发明申请 |
| 2004-9-9 |
| 要解决的问题 : 以引导一大数量的二次电子到电子检测部分，在一个扫描电子显微镜。溶液 : 该扫描电子显微镜包括 : 一个物镜1用于主电子束聚焦在样品2; 所述电子检测部分5用于检测通过发射所述一次电子产生的次级电子在所述样品; 和一个二次电子探测器具有一辅助电极8，用于所述的电子之间施加一个电压检测部和所述样品; 和所述辅助电极8被设置在具有一个倾斜表面平行的一个外部锥部1a所述对象的透镜1。所述辅助电极8所述的倾斜角度被设定等于或大于所述的倾斜角度所述对象的透镜1所述锥形部1a; 和所述至少一个之间的距离所述辅助电极8的尖端部和所述锥形部1a所述对象的透镜1被设定在10以下。所述辅助电极8所述尖端的位置是所述底表面1b的上方设置所述对象的透镜由3～1或更小。 |
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