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扫描探针显微镜探针的制造方法，检查方法和使用方法

US10787228 2004-2-27 发明申请

2004-9-9

一种具有由单壁碳纳米管制成的锋利头部的扫描探针显微镜探针的制造方法，包括将催化剂金属赋予探针主体的尖端，然后在扫描探针显微镜中在惰性气体气氛中通过在针状碳电极之间引起的电弧放电照射探针体尖端的催化部分，以在催化部分生长单壁碳纳米管，以及一种检查方法及其使用方法。