| 扫描电子显微镜 |
| US10475288 2004-4-26 发明申请 |
| 2004-9-9 |
| 提供了一种可重构扫描电子显微镜(RSEM)(100)，其包括 : (a)枪组件(110)和相关联的电子光学柱(120)，用于产生电子束(600)，用于使电子束(600)去放大以产生电子探针(C3)，以及用于横跨样品(190)扫描探针(C3)； (b)电子检测器(550)，用于响应于扫描的电子探针照射而检测来自样品(190)的发射，并用于产生指示发射幅度的相应的检测信号(SD)； 以及(c)显示器(170)，用于接收检测信号(SD)和指示探针(C3)相对于样品(190)的位置的扫描信号(X，Y)，以产生样品(190)的图像。 RSEM(100)的特征在于，其还包括孔径承载构件(500, 520)，每个构件(500, 520)包括相关联的电子束透射孔径，用于将枪组件(110)和电子光学柱(110)与样品(190)至少部分地气密隔离，从而使得RSEM(100)能够被重构为高真空扫描电子显微镜并且也能够被重构为环境扫描电子显微镜，RSEM(100)能够被重构为不包括孔径构件，一个孔径构件(500, 750)和多个孔径构件(500, 5820, 860)。 |
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