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基于平行共焦激光显微镜系统的VCSEL技术
WOFR03003687 2003-12-12 发明申请
2004-8-5
本发明涉及一种平行共焦激光显微镜系统(2)包括一个VCSEL垂直腔激光器阵列(23)用于发射光束,光学装置(24)用于聚焦该光束到一个对象(25),以被观察到。本发明是其特征在于 : 一个光电检测器(22)是设置每个VCSEL激光,使得所述光电检测器后面为能够接收的反向散射的光束从所述物体(25)通过所述的VCSEL激光腔,所述腔具有一个开口作为过滤孔。
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