| 临界尺寸扫描电子显微镜 |
| US10440826 2003-5-19 发明授权 |
| 2004-8-3 |
| 一种用于使用具有具有测量位置的校准标准的测量工具来确定样品上的结构的实际测量的系统。 使用测量工具测量具有第一已知度量的校准标准上的先前测量的位置，以产生第一测量。 利用测量工具测量校准标准上的新测量位置，该新测量位置也具有第二已知度量，以产生第二测量。 通过将第一测量值与第一已知度量值进行比较，并且将第二测量值与第二已知度量值进行比较，来计算用于测量工具的校准因子。 然后使用测量工具测量样品上的结构以产生前体测量。 利用校准因子调整该前体测量以产生中间测量。 然后用样品组成数据调整中间测量值以产生实际测量值。 |
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