| 显微成像离焦量自动补偿系统、方法及显微镜 |
| CN202310987502.7 2023-8-8 发明申请 |
| 2023-9-5 |
| 本发明提供了一种显微成像离焦量自动补偿系统、方法及显微镜，属于显微镜自动对焦技术领域；该系统包括盖玻片、物镜、管镜、相机、电子变焦透镜及离焦测量模块；离焦测量模块包括无偏振分束镜及双色镜、激光器和位置探测器，无偏振分束镜及双色镜与样品成像光路非平行设置，激光器发出的光经无偏振分束镜、双色镜、电子变焦透镜、管镜、物镜及盖玻片的处理形成光斑，通过位置探测器获取轴向离焦量，根据轴向离焦量获取焦距应变量，电子变焦透镜根据焦距应变量改变自身焦距实现样品物平面的焦面锁定。通过本发明，实现在无需机械位移的情况下对样品不同深度成像，及自动补偿长时间显微成像中因显微镜自身稳定性以及外界干扰引起的离焦量变化。 |
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