| 液相原子力显微镜探头 |
| CN03230892.2 2003-4-28 实用新型 |
| 2004-7-7 |
| 本实用新型公开了一种液相原子力显微镜探头。 于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系 统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反 馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可 升降液相单元。本实用新型液相原子力显微镜探头结构简洁， 技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品， 既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实 时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 |
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