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以定量和光学方式测量表面形貌的显微镜和方法

US10311008 2003-2-19 发明申请

2003-8-28

本发明涉及一种以定量和光学方式测量工件表面形貌的显微镜和方法。本发明包括根据Nomarski的差分干涉对比显微镜实施例，包括光源，偏振器，可改变的Nomarski棱镜和分析器。光源具有窄频谱和/或具有具有窄频谱的特殊滤波器；显微镜上设有相位移干涉测量评价单元。