| CNT(碳纳米管)芯片及其制造方法，电子枪，和管心针扫描式探针显微镜 |
| JP2003037376 2003-2-14 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 要解决的问题 : 提供一种具有优良的耐久性和可靠性的CNT芯片， 一种制造CNT芯片的制造方法具有工作效率高， 和使用该CNT的电子枪和SPM探针芯片。溶液 : 这个CNT芯片10包括支架12具有锐角的部分12b的尖端处， 至少其由SiC的顶端； 和至少一个碳纳米管14的尖端处生长急性部12b的表面分解 CNT产生的部分构成急性的尖端部12b。 这种类型的CNT芯片10是这样构成的 : 急性的至少尖端部 由SiC， 和支架12具有非常小的表面12d尖端处的锐角部(12a)制成，B 基材的30， 和其得到的CNT的表面分解产生部12c构成的尖端急性 部分12b。 |
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