| 扫描探针显微镜图像和激光激励发射分布图像的测量装置 |
| JP2003035668 2003-2-13 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜图像和一个激光激发发射分布图像的测量装置不限于通过一个样品用于指示一个强的发射谱，测量材料的信息和形状在一短时间和制造该材料的测量结果的一对应关系信息和所述形状清晰。溶液 : 所述激光激励发射分布图像与一个共焦显微镜测量装置是设置光学系统6用于聚焦所述样品上激励光S和成像所发出的光从所述样品S，一用于分散光谱仪所述从所述样品发出的光S和一个扫描探针显微镜4。作为该样品S的位置被顺序地移动，检测通过所述共焦显微镜成像的光的光学系统6和该形状测量通过所述扫描探针显微镜4所述的相同位置处被同时实现该样品S。 |
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