| 扫描电子显微镜 |
| JP2004160433 2004-5-31 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其产生一扫描图像的高空间分辨率在低加速电压区域。溶液 : 一个加速度缸9被放置在所述电子束路径的一物镜透镜8。所述后级用于一个主电子束加速电压10被然后施加。一个减速电场用于所述主缸9之间形成的电子束被所述加速度和所述样品12，通过施加一个叠加电压13到试样12。所述二次信号23的二次电子的或反射电子的或从所述试样产生的该等12被通过该电场吸引到所述加速筒9(该减速电场)在所述样品的前和通过一个二次电子探测器检测放置的上部分比所述加速筒9。 |
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