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具有声光组件的扫描显微镜

US10762602 2004-1-22 发明申请

2004-9-2

一种扫描显微镜，具有声光部件，该声光部件从至少一个光源的输出光中分出照明样品的照明光，以及将从样品行进的检测光传送到检测器，在从其发出照明光的输出光的光路中包括至少一个监测检测器，该监测检测器是控制电路的测量元件。扫描显微镜的特征在于，照明光功率电平随时间的波动被大大消除。