| 探针开口制造装置及使用该装置的近场光学显微镜 |
| US10796089 2004-3-10 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 本发明提供了一种用于在近场光学显微镜的掩模尖端处产生具有所需尺寸的开口的开口制造装置以及使用该装置的近场光学显微镜。 所述装置包括 : 光源116； 反射装置140； 光检测装置124； 按压装置128, 130将探针尖端按压在所述反射装置上； 存储装置142； 计算装置144从存储在所述存储装置中的校准信息计算出反射光的光量，以获得具有所需尺寸的所述开口； 以及按压控制装置126，其控制所述探针尖端按压所述反射装置，从而允许所述反射光的光量变得等于由所述计算装置计算出的光量。 所述探针开口制造设备能够容易地制造具有高再现性的所需尺寸的开口。 |
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