| 一种极限分析仪，扫描透射电子显微镜及极限分析方法 |
| US10798306 2004-3-12 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 本发明的目的是提供一种最终分析仪，其能够以高对比度显示待分析对象的元素分布图像，以高精度确定元素分布的位置， 以及扫描透射电子显微镜和使用最终分析仪分析元素的方法。 本发明存在于一种最终分析仪中，该最终分析仪包括 : 散射电子束检测器，用于检测由待分析对象散射的电子束； 一个电子光谱仪，用于能量分散穿过待分析对象的电子束； 一电子束检测器，用于检测所述分散的电子束； 以及控制单元，用于基于由电子束检测器检测的电子束的输出信号和由散射电子束检测器检测的电子束的输出信号来分析待分析对象的元素。 此外，本发明存在于包括上述最终分析仪的扫描透射电子显微镜中； 电子束源； 电子束扫描线圈； 散射电子束检测器； 物镜； 聚焦透镜； 放大磁场透镜； 以及调焦电磁透镜。 此外， 最终分析仪或扫描透射电子显微镜可以包括控制单元，该控制单元使得能够实时地观察由散射电子束检测器检测和形成的元素分布图像和茎图像两者， 并且通过散射电子束检测器检测并形成的STEM图像来校正元素分布的图像。 |
微信公众号