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显微镜系统
US10794163 2004-3-4 发明申请
2004-9-2
在载置有试样4的载物台和物镜6中的至少一个可沿光轴方向相对移动的显微镜系统中, 接触判定部(12)基于检测试样(4)与物镜(6)之间的接触的接触传感器(11)的检测输出与预设阈值的比较结果,判定试样(4)与物镜(6)之间的接触的可能性,基于该判定结果,避免试样(4)与物镜(6)之间的过度接触,并且基于接触传感器(11)的输出,每隔预定时间更新接触判定部(12)中的阈值。
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