| 扫描探针显微镜和样品观察使用这种方法和半导体装置的制造方法。 |
| WOJP04000821 2004-1-29 发明申请 |
| 2004-9-2 |
| 一扫描探针显微镜能够测量该样品准确的3-d的形状信息与高吞吐量不损坏样品。一种准确获取所述的方法3-样品D的形状而不损坏该样品通过允许一个探针以仅接触一个待测点，提拉和缩进所述探针暂时移动时它以所述下一待测点，和然后移动它朝向并允许它接近该下一个点到被测得的，其中一个缩进距离最小的要求可以通过分析所述的偏转信号和扭转信号测量所述探头，和一控制是以制成作为以最小化残余振动在横向移动从而增加测量频率并实现一种快速测量。 |
微信公众号