扫描探针显微镜
 
JP2003029661  2003-2-6  发明申请

2004-8-26
 
  要解决的问题 : 以防止冰从样品上沉积生长面,以准确地测量一个固有的形状和该样品的性能面,当待测样品冷却。溶液 : 该扫描探针显微镜是具有一个悬臂连接装置12用于将一悬臂,和一个周边冷却装置15用于冷却所述样品的周边环境。在该显微镜,一悬臂位移检测装置2被设置在该悬臂1,和所述周边冷却装置15被构成以具有无切口部。
 
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