| 扫描探针显微镜，探针座，和探针保持器安装构件用于传送 |
| JP2003032215 2003-2-10 发明申请 |
| 2004-8-26 |
| 要解决的问题 : 以同时附着并除去多个探针的保持架用于一个SPM(扫描探针显微镜)，以和从多个探针的用于一阶段能够附着的保持器安装构件和去除所述多个探针的固定件上。溶液 : 在所述扫描探针显微镜，所述探针架(ph)包括两个保持部分(58)用于该阶段，保持通过两个一探针保持部(57)，用于保持探头(55，56)和所述探针夹持器安装构件(29)用于所述级和一个用于传送保持的保持部(59)一探针座安装构件(36)，用于传送。所述探头固定(ph)被安装在所述探针夹持器安装构件(36)用于转印，在这样的一种方式作为要安装和除去。所述探针夹持器安装构件(36)用于传递包括一传送杆连接部(37aH); 多个保持部件(43)的用于传送; 和一个退回位置移动部件(52)用于同时移动所述多个保持部件(43)的用于转印到该退出位置，根据所述夹持器的所述运动传递杆(61)。 |
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