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具有测量功能的扫描电子显微镜
US10779848 2004-2-18 发明申请
2004-8-26
本发明提供一种扫描电子显微镜,该扫描电子显微镜能够一次有效地对多个测量项目进行测量,并且能够容易地输入,确认和修改自动测量参数。 将用于从扫描电子显微镜捕获的图像创建线轮廓的参数作为自动测量参数(AMP)输入,以用作所有测量项目的公共条件。 另外,输入多个边缘检测方法和测量计算方法的组合作为自动测量参数,以对多个项目进行测量。
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