| 扫描电子显微镜 |
| JP2003021567 2003-1-30 发明申请 |
| 2004-8-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜与一简单结构能够获得高亮度的硬以接收一个外部干扰的影响。溶液 : 该扫描电子显微镜被构造以发射高的能量的带电粒子从一个电子源2和一个样品上照射所述高-能量的带电粒子通过减少所述速度S所述高-之间的能量的带电粒子的一个一个电子枪1的物镜6和所述样品。通过这，亮度是通过具有所述的改进的高-从所述的电子源2发射的能量的带电粒子，和其是由以几乎不接收该外部扰动的影响通过所述带电粒子所述的能量增高。作为上述的结构，一个电极用于施加规定的电压被设置在所述的内部分一个样品的室，所述物镜的所述外表面，和一个内部部分所述样品的侧端所述物镜，同时从上方隔离所述的接地电位。 |
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