扫描探针显微镜的致动和传感装置
 
US10477253  2003-11-10  发明申请

2004-8-19
 
  本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的致动和传感装置。 所述致动和感测装置包括 : 包含两个叉的音叉(21);连接装置(23),例如弹簧装置;以及探测尖端(22)。 尖端(22)通过所述连接装置(23)连接到音叉(21)的两个叉头上。 音叉(21)作为机械谐振器振动。 叉的运动通过连接装置(23)转换成尖端(22)的运动,其中尖端运动可以在与叉的运动平面不同的平面中。
 
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