| 扫描探针显微镜用探针的制造方法 |
| US10777941 2004-2-12 发明申请 |
| 2004-8-19 |
| 本发明提供了一种用于SPM(扫描探针显微镜)的探针，并且提供了一种用于制造探针的方法，其中不需要双面对准工艺来简化制造。 探针包括悬臂； 支撑悬臂的主体； 以及形成在悬臂端部的尖端，其中悬臂，主体和尖端由硅制成，并且硼扩散到悬臂和主体的预定区域中。 所述方法包括以下步骤 : 在要与所述主体和所述尖端形成的硅衬底的区域上形成第一掩模层； 使用所述第一掩模层以预定深度蚀刻所述硅衬底以形成所述尖端； 去除所述第一掩模，并在所述硅衬底的除要与所述主体和所述悬臂形成的区域之外的区域上形成第二掩模层； 使用第二掩模通过将硼扩散到要与悬臂形成的区域和主体的预定区域中来形成硼扩散层； 去除第二掩模层，并在硼扩散层上形成第三掩模层； 以及使用第三掩模层蚀刻硅衬底以形成主体和悬臂。 |
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