扫描电子显微镜用样品台
 
US10666822  2003-9-17  发明授权

2004-8-17
 
  本发明是一种用于扫描电子显微镜的样品台。 所述样品台具有基座和水平支撑构件,其中在所述水平支撑构件中具有孔。 垂直支撑构件在一端邻接基座并且在另一端邻接水平支撑构件,使得垂直支撑构件位于水平支撑构件中的孔的下方并且与水平支撑构件中的孔成一角度。 具有与水平支撑构件中的孔对准的孔的准直器邻接水平支撑构件的顶部。 第一反射器和第二反射器分别设置在第一反射器和第二反射器之间,第一反射器和第二反射器分别设置在第一反射器和第二反射器之间。 第二反射器邻接基座的未被垂直支撑构件覆盖的顶表面的一部分。
 
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