| 一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品、校准装置及校准方法 |
| CN202310571580.9 2023-5-21 发明申请 |
| 2023-8-29 |
| 本发明公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜(CD?SEM)标准样品、校准装置及校准方法，包括：一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品，所述标准样品分为四个不同的区域S1、S2、S3和S4，所述四个区域中图案的最小结构尺寸各不相同；所述四个不同的区域S1、S2、S3和S4中的每个区域又分为四个区域P1、P2、P3和P4，其中的图案为四种不同的形状；所述四种不同的形状又分为上下两个部分，为两种不同的图案类型。一种关键尺寸扫描电子显微镜校准装置，其特征在于，包括：样品承载装置、标准样品、三维运动平台；本发明还公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜校准方法，使用所述校准方法可以及时、高效的对CD?SEM进行校准和实现对样品关键尺寸的量测。 |
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